潔凈室是污染控制的基礎,是空氣過濾、分配、優化、建筑材料、設備的房間。在潔凈室極高的硅片制造鏈中,必須是一個沒有污染源的環境,一個超潔凈的車間,才能正常批量生產硅片零件。
與國外相比,我國潔凈室的發展起步較晚。在過去的二十年里,隨著越來越多的外國公司在中國設立或合資企業,一些高科技企業對生產環境提出了要求。為了增強競爭力,各行各業都開始追求潔凈室的質量。


正確合理的設計是保證潔凈室穩定運行的前提。在實際使用中,不正確的維護和不規范的管理會降低潔凈室的空氣潔凈度,導致潔凈室指標達不到要求。因此,正確、科學地維護和管理潔凈室至關重要,應從各個方面加以完善。
潔凈室人員控制
經檢測分析,潔凈室80%的微污染是由工作人員造成的。當工作人員進出潔凈室時,粉塵顯著增加,潔凈度立即惡化。因此,進入潔凈室前,員工應做好清潔、擦拭等防塵動作,企業也應培訓員工,制定相應的章程和制度。


潔凈室物品管理
工作人員會帶入灰塵,所以所有的材料和設備也會影響潔凈室的清潔。當物流和設備進入時,不要將任何顆粒或微生物帶入房間。工作人員應在潔凈室穿干凈的衣服,用無塵紙擦拭材料和設備。運輸時,應在地板上鋪設干凈的不銹鋼板,以防損壞地板。
潔凈室定期檢查
對于潔凈室的各種設備,進入無塵室后,應經常清洗消毒,并定期檢查,防止無塵室中灰塵顆粒和微生物的產生、繁殖和滯留。


潔凈室系統構建和維護
潔凈室除了防止灰塵進入外,還應配備凈化空調系統、水電系統、生產工藝設備等各種設備設施,確保潔凈室空氣潔凈度等級的使用符合產品生產工藝的要求。在系統的正常運行中,維護也至關重要。比如空氣過濾器是否正常暢通,密封墊是否牢固,鼓風機軸承是否正常運轉。每一項都影響系統的運行,所以不能省略。
現在為了滿足各行業的需求,大部分潔凈室都會選擇“量身定做”。應盡可能建立完善的制度,防止后續問題影響潔凈室的使用,浪費時間和金錢。很多缺乏這方面重要性意識的企業,最后都后悔了,但為時已晚。
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