潔凈車間的監控系統/設備由整套系統提供，FMCS負責系統操作數據的收集和控制，系統包的監控系統/裝置應提供通用的接口，要求溶劑回收系統、廢水提升系統、FFU系統、大宗氣體及純化氣系統、工藝真空系統、純水系統等提供OPC接口。潔凈車間所有運行參數及狀態通過通訊上傳至FMCS。

　　

　　

　　潔凈車間采用PLC控制，所有的硬接線點可以通過PLCs監視并/或者控制。潔凈車間中每個PLC都是完全獨立的控制器，利用所有固件和軟件，在獨立的基礎上實現全部控制。其中CUB和FAB空調機房PLC采用冗余控制器（不接受軟件冗余），FAB其他部位PLC可采用非冗余控制器。

　　

　　PLCs控制器和遠程I/O之間，潔凈車間中，采用光纖進行通信連接以抑制干擾和預防雷擊，且所有硬件模塊應滿足ISA-S71.04 G3防腐標準。系統PCs在滿足系統要求的基礎上采用主流穩定的規格配置。

　　

　　FMCS網絡采用冗余網絡，網絡上的本地集線器/交換機需要通風設備，以避免過熱。潔凈車間中，網絡配置管理器采用RJ-45以太網適配器，放在有門的接線盒里，包括盒和集線器之間的線路，為了集成系統包和設備包的數據，FMCS系統至少應支持以下通信協議和接口：OPC DA&AE、OLE-DB、Modbus RTU&TCP、Profibus DP&PA、IEC61850、Profinet I/O、Hart等。

　　

　　

　　控制系統軟件可以定義多個級別的用戶，密碼保護和安全保證，包含全面制圖功能、報警管理、實時和歷史記錄，并提供實時過程數據。FMCS潔凈車間軟件采用統一的系統平臺，統一的數據庫，可以實現以下功能：PLC控制程序編程和下裝、圖形編輯工具、IEC61131-3編程語言、數據點配置和管理、系統診斷和設備管理、歷史趨勢、報警和報表組態等。

　　

　　FMCS潔凈車間的監視點包括工廠系統的儀器，閥門和傳感器信號，這些信號通過硬連線的I/O通道連接，以及通過以太網和OPC接口，連接其他系統和成套設備所提供的數據，其監控類型包括AI-模擬量輸入通道（4～20mA）、AO-模擬量輸出通道（4～20mA）、DI-開關量輸入模塊（24V DC）、DO-開關量輸出通道（24VDC，0.5A配繼電器隔離）、集成系統包OPC Item數據和History Logs數據。要求防爆區域的信號必須經過安全柵接入PLC。

　　

　　每個潔凈車間的輸出通道必須保持其自身傳輸值的安全性，也就是說，它可以自動執行測試控制器和輸出卡之間的通信超時。當潔凈車間中的控制器故障或通信超時時，輸出通道可以根據組態保持在最后一次的輸出值或輸出一個預先設定的安全值。

　　

　　下層現場監控系統則用于現場監控的系統由控制器、傳感器、變送器、執行器及線路工程等組成，凈化工程應用于空調機組、一般排風、低溫冷凍水系統、中溫冷凍水系、PCW系統、空壓系統、一般給排水系統、鍋爐系統等。